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    電子探針X射線微區分析儀

    簡要描述:島津能夠提供鋼鐵、有色金屬、環境、食品、化工、制藥、半導體、陶瓷及高分子等眾多領域客戶,多種樣品分析所需要的種類繁多的分析儀器。EPMA-8050G電子探針X射線微區分析儀的分析對象從幾厘米到幾微米;X射線光電子能譜儀(XPS)分析對象從幾毫米到幾微米;掃描探針顯微鏡(SPM)觀察范圍從100微米到幾納米。

    • 產品型號:EPMA-8050G
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2022-05-31
    • 訪  問  量:621

    詳細介紹


    “The Grand EPMA"電子探針X射線微區分析儀 誕生

    搭載場發射電子光學系統
    將島津EPMA分析性能充分發揮。

    從SEM觀察條件到1μA量級,在各種束流條件下都擁有空間分辨率的場發射電子光學系統。結合島津傳統的高性能X射線譜儀,將分析性能有效發揮。

    當之無愧的“The Grand EPMA" ,zui高水準的EPMA誕生!

    超高分辨率面分析

    對碳膜上Sn球放大3萬倍進行面分析。即使是SE圖像(左側)上直徑只有50nm左右的Sn顆粒,在X射線圖像(右側)上也是清晰可見。


    電子探針X射線微區分析儀可達到的zui高級別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV)分析條件下的二次電子分辨率。
    (加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)

    二次電子圖像zui高分辨率3nm
    碳噴鍍金顆粒的觀察實例。實現zui高分辨率
    3nm(@30kV)。相對較高的束流也可將電子束壓
    細聚焦,更加容易的獲得高分辨率的SEM圖像。

    大束流超高靈敏度分析
    實現3.0μA(加速電壓30kV)的zui大束流。
    全束流范圍無需更換物鏡光闌。

    ■ zui多可同時搭載5通道高性能4英寸X射線譜儀
    無人可及的52.5°X射線取出角。
    4英寸羅蘭圓半徑兼顧高靈敏度與高分辨率。
    zui多可同時搭載5通道相同規格的X射線譜儀。

    全部分析操作簡單易懂
    全部操作僅靠一個鼠標就可進行的先進可操作性。
    追求「易懂」的人性化用戶界面。
    搭載導航模式,自動指引直至生成報告。

    超高靈敏度面分析

    使用1μA束流對不銹鋼進行5000倍的面分析。精確地捕捉到了Cr含量輕微不同形成的不同的相(左側),同時也成功地將含量不足0.1%的Mn分布呈現在我們眼前(右側)。


    實現微區超高靈敏度分析的先進技術

    1 高亮度肖特基發射體
    場發射電子槍采用的肖特基發射體比一般傳統SEM使用的發射體針尖直徑更大,輸出更高。即可以保持其高亮度,還可提供高靈敏度分析*的穩定大電流。

    2  EPMA電子光學系統
    電子光學系統,聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側,交叉點不是靠聚光透鏡形成,而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上,具有獨立構成與控制方式的可變光闌透鏡來形成交叉點的(日本:第4595778號)。簡單的透鏡結構,既能獲得大束流,同時全部電流條件下設定zui合適的打開角度,將電子束壓縮到zui細。當然是不需要更換物鏡光闌的。

    3 超高真空排氣系統
    電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔(orifice)間隔方式的2級差動排氣系統。中間室與分析腔體間的氣流孔做到zui小,以控制流入中間室的氣體,使電子槍室始終保持著超高真空,確保發射體穩定工作。

    4 高靈敏度X射線譜儀
    zui多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時,又可減小樣品對X射線的吸收,實現高靈敏度的分析。




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